这次客户试样的试备是中高频淬火设备，电子探针射线显微分析仪对试样是有一定要求的。按形状的不同，试样大致可分为块状、粉末及薄膜三类。块状试样的尺寸受仪器的试样室及试样座大小限制一般圆形试样以咖，方形试样以的*表面积为好。当要定量分析时，试样表面的高低不平将降低试验结果的可靠性，因此试样表面必须进行抛光处理。在研磨时不要使试样表面出现浮雕状平面，并且不要使研磨剂等残存在试样的表面或内部。

　　中高频淬火设备处理的试样断面边沿部分进行成分分析抛磨时，要求表面不出现圆角或倾斜，应把试样镶嵌起来。由于使用电子探针X射线显微分析仪的目的主要是了解组织与其构成元素的关系，一般需要对试样进行腐蚀，所以必须认真地研究试样与腐蚀剂之间的关系，尽可能轻轻地进行腐蚀，以使腐蚀后的试样表面不发生化学成分的变化。对试样进行电子探针分析时，试样必须接地，因此试样应具有良好的导电性。

　　对于非导体试样，需在旋转中高频淬火设备真空室中喷碳或其他金属，使其表面能导电。喷膜的厚度应。对于粉末试样，若只需了解其总的成分，则可用压缩成型或烧结等办法把粉末压在一起，用与分析块状试样相同方法进行分析。若需了解粉末成分，则可在金属片上涂敷导电涂料，然后把粉末试样粘在上面，或将试样包埋在树脂等材料中，等其硬化后将试样固定，再对试样进行研磨和喷镀。对于薄膜试样，可用电子显微镜萃取复型的方法萃取试样，但是保存试样时要十分小心，应使试样有较好的平整度，并尽量使萃取物掉下来，以免影响分析结果。